China avança na produção de semicondutores com novo fotorresiste T150 A: será o fim da dependência de importações japonesas?
Recentemente, a Wuhan Taiziwei Optoelectronics Technology Co., Ltd., na China, lançou seu produto de fotorresiste T150 A, que passou com sucesso pela validação de produção em massa para processos semicondutores. Com uma fórmula totalmente projetada internamente, essa conquista é esperada para abrir caminho para uma nova era na fabricação doméstica de litografia semicondutora na China.
O produto T150 A foi comparado com a série de fotorresiste KrF de empresas líderes internacionais. Em comparação com o produto amplamente reconhecido UV1610 da mesma série, o T150 A demonstra uma resolução extrema de 120nm durante o processo de litografia, oferece maior tolerância de processo, maior estabilidade e excelente retenção de filme após o pós-cura.
Além disso, ele é mais compatível com processos de gravação subsequentes. A validação revelou que padrões densos feitos com o T150 A exibem uma verticalidade excepcional das paredes laterais no dielétrico subjacente após a gravação.
Especialistas da indústria comentaram que, entre os produtos de fotorresiste da série KrF, o produto UV1610, contra o qual o T150 A foi comparado, é considerado um “resiste comumente usado” e com alta demanda. Atualmente, fabricantes chineses como Beijing Kehua e Xuzhou Bokang têm a capacidade de produzir o UV1610.
Atualmente, o fotorresiste para semicondutores da China, especialmente para produtos de alta tecnologia, ainda depende fortemente de importações, sendo o Japão a maior fonte de importações de fotorresiste para a China.
De acordo com dados da Administração Geral de Alfândegas da China, o valor total das importações de produtos químicos fotossensíveis na China alcançou 2,177 bilhões de dólares em 2023, com as importações do Japão totalizando 1,149 bilhão de dólares, representando 52,8% do total.
De janeiro a junho de 2024, as importações do Japão totalizaram 638 milhões de dólares, um aumento de 16,7% em relação ao ano anterior. No segundo trimestre de 2024, o valor total das importações foi de 338 milhões de dólares, um aumento de 15,6% em relação ao ano anterior e um aumento de 12,6% em relação ao trimestre anterior. A participação do Japão nas importações se manteve em torno de 51,5%, permanecendo em um nível historicamente alto nos últimos anos.
Globalmente, o mercado de fotorresistes é dominado por fabricantes japoneses e americanos. Seis grandes empresas—JSR Corporation (Japan Synthetic Rubber), Tokyo Ohka Kogyo (TOK), DuPont-Rohm and Haas (EUA), Shin-Etsu Chemical (Japão), Sumitomo Chemical (Japão) e Fujifilm Electronic Materials (Japão)—mantêm um monopólio significativo sobre o mercado de fotorresiste para semicondutores.
Além disso, fabricantes líderes no Japão, Coreia do Sul, Europa e EUA já alcançaram produção em massa de fotorresistes de alta tecnologia. Em contraste, a taxa de localização dos fotorresistes na China permanece baixa. De acordo com dados da indústria, a taxa de produção doméstica de fotorresiste KrF na China é inferior a 5%, enquanto a taxa para fotorresiste ArF é inferior a 1%.
Apesar desses desafios, a indústria de fotorresiste da China tem experimentado um crescimento rápido nos últimos anos. A China agora se tornou um dos maiores mercados de fotorresiste do mundo. Há dezenas de empresas domésticas envolvidas na indústria de fotorresiste, e algumas alcançaram progressos significativos. Exemplos notáveis incluem bcmaterial, RedAvenue, Jingrui, Shanghai Sinyang e Nata Optoelectronic Material.
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